接确式对准曝光机

发布时间：2025-06-23

作者：爱锐精密科技（大连）有限公司

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产品描述：爱锐精密科技（大连）有限公司提供进口小型接确式对准曝光机 MASK ALIGNER对准曝光机- MaskAligner■特点 ■手动操作、接触式对准曝光机。 ■依照不同需求以及成本考量有准直仪型多面镜...

产品特点

爱锐精密科技（大连）有限公司提供进口小型接确式对准曝光机 MASK ALIGNER

对准曝光机- MaskAligner

■特点

■手动操作、接触式对准曝光机。
■依照不同需求以及成本考量有准直仪型多面镜型整合(积算器)型三种曝光光源。
■有可对应5×5mm～100×100mm以及Φ1 inch～ 6 inch的基板的各类机种。
■Mask Holder载台的更换作业简单易行，可在１分钟内完成，适合用于研究开发。
■对准显微镜的对物镜可对应高对准精度或厚膜等用途，并且有4×、10×、20×三种。

■共通规格

接触方法	软性接触/ 硬性接触(部分选配)
对准精度	使用对物镜20×时＜1.2μm(M-1S除外)
对准显微镜	双视野显微镜对物镜间隔18~60mm (M-1S除外)
曝光波长	多频率(h．i．g线)

MA系列半自动型，用于IC少量生产，MEMS等用途

MA-10 低成本，标准型

规格基板尺寸MAXΦ4 inchMask尺寸MAX 5×5 inchUV灯箱准直仪型照度>8mW/cm2照度均一性<±8.5%硬性接触有对准点间隔测长功能不可装配计光量计不可装配防震台选配外形尺寸(mm)700W×570H×650D

具体需求请向我司咨询。

KEYWORDS：小型对准式曝光机，半导体制造小型接确式曝光机，MEMS用曝光机