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日本超小型研磨机 ISPP-1000(日本JEOL标备研磨机)


日本超小型研磨机 ISPP-1000(日本JEOL标备研磨机)

发布时间:2026-01-27

作者:爱锐精密科技(大连)有限公司

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产品描述:实验室试料及精密部件的超精密研磨用,快速,使用方便,研磨正确。一、产品特点:1.小型化,轻量化:外形尺寸294*284*370mm, 重量10KG2.对于实验室的试精研磨不再需要树脂包埋作业了,可以直

日本超小型研磨机 ISPP-1000(日本JEOL标备研磨机)

实验室试料及精密部件的超精密研磨用,快速,使用方便,研磨正确。

一、产品特点:

1.小型化,轻量化:外形尺寸294*284*370mm, 重量10KG

2.对于实验室的试精研磨不再需要树脂包埋作业了,可以直接用固定器固定后直接研磨。

3.研磨机构重量轻,对被研磨体的损伤小,可以进行研磨荷重管理。

4.截面抛光,离子蚀刻的前处理可以短时间内正确的研磨。

5.适用于结晶方位分析(EBSD)的试料制作。

6.自带确认用显微镜,研磨中不必拆装被研磨体,只轻转研磨头,就可以在显微镜下观察研磨情况。使研磨更精准。

7.TAT解析时间更短,无需要包埋作业,更省时省力。

8.研磨·的工艺流程,研磨方法等可以数量化,方便管理。无需要熟练研磨人员。

二、主要适用领域:

1. 陶瓷,金属等材料的结晶方位解析的前处理。

2.IC芯片的内部封装结构的解析的前期研磨处理。

3.各种硬脆材料,难切削材料的内部分板的断面前期研磨处理。

三、规格仕样

1. 主机单元

项目
说明
外形尺寸
约W295×D295×H383<br>含凸起部分、配管·配线、可动部移动范围
研磨盘
可粘贴带粘着力的研磨片,也可使用薄膜研磨材
可用研磨材
耐水研磨纸、研磨薄膜(可使用水、醇类研磨液),以及使用金刚石/氧化铝/氧化铈等的抛光研磨、使用胶体硅等的化学机械研磨
重量
约10kg
转台转速
100~500rpm(9档,以50rpm为间隔调节)
研磨适用尺寸
约1/2英寸对应、厚度最大40mm的板状端面等(目视安装)
电源
DC24V 65Wmax
给水
可通过选装小型供水系统实现自动供水
排水口
内径φ12 软管接口
条件设定项目
研磨时间(1~999秒)、转台转速(9档)、摆动速度(15档)、摆动范围(起点·终点各9档)
条件设定存储
可将上述条件设定项目保存为15组参数
样品观察
配备倒置光学显微镜,可通过按钮操作将样品无接触移动至显微镜观察位置,以观察研磨痕迹等
 
2. 摆臂单元
  
项目
说明
样品夹具安装方式
杠杆式
基本研磨压力
可动机构自重、样品夹具重量与样品自重的总和
荷重调整方法(加重)
通过放置研磨压力调整砝码实现<br>(砝码套装:25g×2个、50g、100g各1个,随设备附带)
荷重调整方法(减重)
通过砝码抵消机构,可实现近乎0负荷的研磨
研磨量调整机构
通过微型止动机构限制样品夹具的下降位置
调整用旋钮
最小分辨率:2μm刻度,调整范围:6.5mm
 
3. 研磨盘
项目
说明
尺寸
φ110
材质·处理
铝合金制,表面镀硬镍
※备注
本研磨盘需粘贴耐水研磨膜、研磨布等耗材后,安装在主机转台上使用
 
4. 显微镜单元
项目
说明
方式
倒立型光学显微镜
照明
同轴落射照明 白色LED(亮度调节:10档)
镜头
物镜:×4、×10各2支;目镜:×10、×20各2支(随设备附带)
视野移动
X方向:进给丝杆式载物台;Y方向:齿条式载物台
调焦
粗调:齿条式载物台;微调:旋钮式载物台
 
5. 电源单元
 
项目
说明
方式
开关电源,支持全球电压
输入
AC100~240V 50/60Hz 1.4Amax,3P输入插座
输出
DC24V 2.7Amax
线缆
附带100V用2P带地线电源线

6. 样品夹具
V型样品夹具(ISPP-SH1)
项目
说明
适用样品形状·尺寸
φ2~φ12的棒状、筒状;<br>宽度约8mm、厚度最大2mm的板状等
固定方式
直接夹紧,可通过1/2英寸试样台(附带)适配更小样品;<br>也可通过大试样台(φ25、附带1个)适配厚度约20mm的薄样品(此场景下需配合热蜡等使用)
 
平板夹具(ISPP-SH3)
项目
说明
适用样品形状·尺寸
约20mm见方、厚度最大5mm的板状样品
固定方式
直接夹紧,或配合附带的粘贴台/热蜡等固定(厚度≤2mm时适用)
 
单轴倾斜夹具(ISPP-SH4)
项目
说明
适用样品形状·尺寸
约40mm见方、倾斜角度约5°以内的板状样品(如BGA封装等)
安装方式
直接夹紧,或先通过热蜡等固定在基板上再夹紧
调整机构
旋钮式微调机构,调整范围-3°~+5°,刻度精度约0.01°
 
双轴倾斜调整座(ISPP-AA)
项目
说明
方式
双轴万向机构,可对全周方向进行角度调整<br>(安装在夹具与其他样品夹具之间使用)
调整方法(粗调)
旋转旋钮本体,通过锁止螺母固定(每转约0.625°)
调整方法(微调)
差动旋钮调整(刻度精度约0.003°)
调整范围
约±5°(X/Y轴单独调整时)
 

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