日本EKUSA   ECN型药液加热器ECN-30P

半导体药水清洗设备的直排用ECN型加热加热器 

高纯度制造 

●在接液部全部使用PFA 

●没有杂质的溶出 

●低温加热器使用不使药液劣化 

●对碱性药水也不劣化 

可靠性 

●最高使用压力:0.4 MPa 

●最高使用温度:标准品为80℃，特殊规格可制作至120℃ 

过热报警用传感器内脏 

●停电等突然关机时温度上升 

10℃左右。高温时使用也放心 

●漏水传感器内脏 

●抗流动变动和冲击能力强 

可维护性 

●因为使用低温加热器寿命半永久性加热器不需要更换 

●因为非常紧凑，容易设置 

●电气控制可以有效利用既设

标准规格

加热器容量：3kw、4.5kw、6kw、9kw、12kw、24kw（AC200V，1Ø另外3Ø）

液温度：80℃

压力：0.4Mpa以下

材质：接液部-PFA 其他-SUS304，PTFE 外装-PVC或SUS304

接续方法：PFA管 3/8”,1/2”,3/4”,1”

保护及警报：水温过热用温度传感器（K-Type 或Pt100Ω）

            加热器过热用温度传感器（K-Type 或 Pt100Ω）

            液漏传感器（平行电极式）

特殊规格

控制机器：专用传感器

传感器：空烧传感器（静电容量式），流动传感器

电源：可指定

高温规格：最高液温度150度