日本EKUSA药液加热器EXS型
日本EKUSA药液加热器EXS型
发布时间：2026-01-16
作者：爱锐精密科技（大连）有限公司
浏览数：0
产品描述：EXS 型药液加热加热器 应用场景：半导体药水清洗设备直排工艺专用。 核心特点 • 接液部全 PFA 材质，耐酸碱、抗腐蚀，适配超纯水及各类制程药液。 • 低瓦密度设计，运行稳定，使用寿命长。 • 结
日本EKUSA药液加热器EXS型
半导体药水清洗设备的直排用
EXS型药液加热加热器
EXS型的特点
●在接液部全部使用PFA
●低瓦密度设计，寿命长
●可用于超纯水、碱液、酸性液
●因为紧凑所以容易设置
型号 | EXS20 | EXS40 | EXS60 | EXS80 |
加热器容量（Kw） | 2 | 4 | 6 | 8 |
尺寸W（mm） | 120 | 120 | 120 | 120 |
尺寸L （mm） | 120 | 120 | 120 | 120 |
尺寸H （mm） | 180 | 270 | 360 | 450 |
接续管 | 1/2” | 1/2” | 3/4” | 3/4” |
概略重量（Kg） | 2 | 3 | 4 | 5 |
基准流量L/M（1pass） | 0.5 | 1 | 1.5 | 2 |
基准流量L/M（循环） | 2 | 4 | 6 | 8 |
