超纯水加热设备

• 主要用途

  1. 清洗硅晶片。 2. 清洗液晶玻璃基板。 3. 可代替其他用氟利昂清洗的温纯水清洗。

  加热单元用的高纯度石英组件，内置卤素灯，外面包裹断热材料

  
  

  基本参数
  ■型号		PWH-24N	PWH-48i	PWH-72i	PWH-96i	PWH-144i
  ■加热方式		采用近红外线光的辐射加热方式
  性能	■加热器电功率	24kW	48kW	72kW	96kW	144kW
  	■标准流量 （升温至55℃时）	6L/min	12L/min	18L/min	24L/min	36L/min
  	■最小加热流量	2L/min	5L/min
  	■设定温度范围	25～85℃
  	■温度控制精度	±1℃　※１
  构成	■流量显示范围	0～10L/min	0～50L/min（不是可保证控制精度的范围）
  	■加热器	卤灯，不接触液体的间接加热方式
  	■加热部容器材质	高纯度透明石英
  	■接触液体的设备及配管材质	氟树脂
  	■安全对应功能	流量异常、过高温、干烧、漏夜、传感器断线、卤灯断线等、 检测出异常时停止输出信号，显示报警，并在接点输出报警信号
  	■外部通信功能	RS-232C/RS-485（可选）但不能同时选择　※２
  	■外部输入输出功能	8-输入／14-输出信号（根据产品式样也会有不同的情况）
  其他	■外形尺寸(mm) ※３	W340×D850 ×H1384	W340×D850 ×H1384	W340×D850 ×H1584	W340×D850 ×H1986	W1050×D700 ×H2004
  	■重量	约90kg	约130kg	约160kg	约210kg	约410kg
  	■电源(50/60Hz) （3相3栓）※4	AC200/208V 共用　69/67A	AC200/208V 共用139/133A	AC200/208V 共用　208/200A	AC200/208V 共用　277/266A	AC200/208V 共用　416/400A

  ※１：据条件而异。　※２：可另外讨论。　※３：不包括突起部分。※4：电压可要求厂家变更或安装变压器

KEYWORDS：半导体用超纯水加热设备，PURE WATER　HEATER, KELK, 超纯水加热器