中文 | English

二手设备分类

-

联系我们

爱锐精密科技大连有限公司地址
咨询热线:156-4099-6933
地址:大连市金州区金马路120号福佳国际大厦611室
邮编:116000
QQ在线:416288331,1229431320
电话:0411-8718-9285
传真:0411-8718-9293
Email:info@airytech.com

-

主要代理品牌汇总

-

ETCH蚀刻陶瓷环

 

爱锐精密科技大连有限公司,AMAT,LAM,NOVELLUS, TEL, VARIAN, MATTSON等设备的专用氧化铝,蓝宝石,石英,氧化钇等各种材质刻蚀环

产品采用高纯度氧化铝材料,蓝宝石,石英材料,氧化钇材质经成型,后期精密机械加工,研磨,清洗等工艺,后期经过无尘室严格清洗管理,真空包装后提供给客户。得到国内及日本,韩国,美国等众多世界知名大厂的采用,产品质量稳定,精度高,可以得到高品质的半导体IC产品。

以下为本公司可以根据图纸号进行确认生产的产品。当然也可以根据客户的需要按图纸进行进行定制,如果您有需求向本司咨询。

NO. Maker  Wafer Size  OEM No.  Part Name  Material 
1 AMAT  200 0200­00261  CHAMBER INSERT 200MM  Al2O3 
2 AMAT  200 0200­00468  IMP FEEDTHRU INSULATOR  Al2O3 
3 AMAT  200 0200­00624  NCRS PURGE RING, WXZ+  Al2O3 
4 AMAT  200 0200­00632  RING SHADOW(3MM)NCRS  Al2O3 
5 AMAT  200 0200­00945  CAPTURE RING  Al2O3 
6 AMAT  200 0200­01009  Modified Top Nozzle  AlN 
7 AMAT  200 0200­09083  QUARTZ SHIELD  Quartz 
8 AMAT  200 0200­10284  LIFT PIN BK  Al2O3 
9 AMAT  200 0200­10377  SINGLE RING  Al2O3 
10 AMAT  200 0200­18081  COVER LOW PROFILE  Al2O3 
11 AMAT  200 0200­18095  COLLAR MINCONTACT_TELTEC  Al2O3 
12 AMAT  200 0200­18109  Ceramic Collar_HHNEC  Al2O3 
13 AMAT  200 0200­20055  INSULATOR ANTENAE PCII TI PED  Quartz 
14 AMAT  200 0200­20285  PEDESTAL COVER UPPER 8"  Al2O3 
15 AMAT  200 0200­20331  IMP Cover Ring  Al2O3 
16 AMAT  200 0200­35287  Ceramic Base Al2O3 
17 AMAT  200 0200­35290  HOUSING GAS FEED BKCeramic Base Al2O3 
18 AMAT  200 0200­35291  PLUG GAS NOZZLE BK  Al2O3 
19 AMAT  200 0200­35293  WINDOW MANOMETER PORT BK  Al2O3 
20 AMAT  200 0200­35295  HOUSING GAS FEED DPS A3 CH BK  Al2O3 
21 AMAT  200 0200­35296  GAS PLUG BK  Al2O3 
22 AMAT  200 0200­35576  HP TXZ LID ISOLATOR_Polishing Repair  Al2O3 
23 AMAT  200 0200­35611  LID LINER SCREW(CERAMIC) BK  Al2O3 
24 AMAT  200 0200­36659  SHADOW RING (Q'tz)  Quartz 
25 AMAT  200 0200­36686  Ceramic Single Ring  Al2O3 
26 AMAT  200 0200­39133  WINDOW END POINT PORT  Al2O3 
27 AMAT  200 0200­39135  WINDOW MANOMETER PORT  Al2O3 
28 AMAT  200 0200­39137  DPS Poly Dome  Al2O3 
29 AMAT  200 0200­39144  RING FOCUS 195MM SNNF 1.38  Al2O3 
30 AMAT  200 0200­40126  THIN BLADE(CERAMIC)  Al2O3 
31 AMAT  200 0200­50132  Capture Ring  Al2O3 
32 LAM  200 716­330045­001  RING EDGE 9408 ESC 202_HC  Al2O3 
33 LAM  200 716­330045­002  (L)EDGE RING(PTX)¢202 Al2O3 
34 LAM  200 716­330120­001  CERAMIC WINDOW FLAT Al2O3 
35 LAM  200 716­330890­001  Uniformity Ring  Al2O3 
36 LAM  200 716­330892­007  ALLIANCE 9600 GDP  Al2O3 
37 LAM  200 716­331051­006  UNIFORMITY RING  Al2O3 
38 Novellus  200 15­109921­00  C­PEC_200mm  AlN 
39 Novellus  200 15­158185­00  NANO CLEAN CE TUBE  Al2O3 
40 TEL  200 1810­329022­11  Adapter Liner (Y2O3 Coating)  Metal 
41 TEL  200 1D10­304010­12  RING SHIELD B3  Al2O3 
42 AMAT  300 0010­28101  PRODUCER LIFT PIN HOOP  Al2O3 
43 AMAT  300 0020­05896  Ring Deposition Clean CIP2  Al2O3 
44 AMAT  300 0021­43884  DPSII POLY AL LIFT PIN  Y2O3 
45 AMAT  300 0030­52157  Clamp Lower Center Gas Feed  Al2O3 
46 AMAT  300 0200­00576  Pin Weight  Al2O3 
47 AMAT  300 0200­00933  SCREW COVER (DPS2)  Al2O3 
48 AMAT  300 0200­00970  Ceramic Lid  Al2O3 
49 AMAT  300 0200­01326  INSULATOR SOURCE ADAPTOR Ceramic  Al2O3 
50 AMAT  300 0200­01427  ISOLATOR CERAMIC CVD  Al2O3 
51 AMAT  300 0200­01461  Gas Nozzle  Al2O3 
52 AMAT  300 0200­01521  BLADE  Al2O3 
53 AMAT  300 0200­01766  Manifold  Al2O3 
54 AMAT  300 0200­01863  CERAMIC ESC COVER  Al2O3 
55 AMAT  300 0200­01991  RING FINGER LIFT PRODUCER  Al2O3 
56 AMAT  300 0200­02262  Insulator Coil Support  AlN 
57 AMAT  300 0200­02396  LINER CERAMIC MIDDLE  Al2O3 
58 AMAT  300 0200­02421  ISOLATOR LID TOP CERAMIC  Al2O3 
59 AMAT  300 0200­02469  ManiFold  Al2O3 
60 AMAT  300 0200­02747  CERAMIC LID (DPS2)  Al2O3 
61 AMAT  300 0200­02967  CERAMIC INJECTOR (DPS2)  Al2O3 
62 AMAT  300 0200­02972  Pumping Liner C­Channel  Al2O3 
63 AMAT  300 0200­03200  Ceramic Capture Ring C TYPE DPS 2  Al2O3 
64 AMAT  300 0200­03314  LIFT 170 FIXED FLOATING 300  Al2O3 
65 AMAT  300 0200­03317  Ceramic Cover Ring C TYPE 300mm DPS 2  Al2O3 
66 AMAT  300 0200­03433  ESC ceramic Bushing  Al2O3 
67 AMAT  300 0200­03598  Ceramic Lid  Al2O3 
68 AMAT  300 0200­03837  INTERNAL INSULATOR  Al2O3 
69 AMAT  300 0200­03969  Pumping Liner SR Top  Al2O3 
70 AMAT  300 0200­04086  Shadow Ring  AlN 
71 AMAT  300 0200­04146  TOP LINER(PRO)  Al2O3 
72 AMAT  300 0200­04294  Top Baffle_8 Hole_ALN  AlN 
73 AMAT  300 0200­04372  Gas Nozzle Middle (STI) AlN 
74 AMAT  300 0200­04474  PRODUCER CERAMIC HOLDER ¢7.2 Al2O3 
75 AMAT  300 0200­04654  Pumping Liner Top SIH4 Producer SE  Al2O3 
76 AMAT  300 0200­04864  Ceramic Plug Al2O3 
77 AMAT  300 0200­04969  WELDMENT  Al2O3 
78 AMAT  300 0200­05003  OPUS GAS INJECTOR_Y2O3  Al2O3 
79 AMAT  300 0200­05031  PLUG SLIT COVER  Al2O3 
80 AMAT  300 0200­05081  SIDE NOZZLE 1.76 AlN 14MILS  AlN 
81 AMAT  300 0200­05465  GAS INJECTOR(AE POLY)  Al2O3 
82 AMAT  300 0200­05593  AMAT HDP ULTIMA AlN BAFFLE  AlN 
83 AMAT  300 0200­05896  No­Arc Deposition Ring Al2O3 
84 AMAT  300 0200­05912  LIFT PIN  Y2O3 
85 AMAT  300 0200­05959  G5 Single Ring  Quartz 
86 AMAT  300 0200­06404  OPUS Ceramic Lid  Al2O3 
87 AMAT  300 0200­06405  CERAMIC LID  Al2O3 
88 AMAT  300 0200­06504  Ultima Top Nozzle AlN 
89 AMAT  300 0200­06615  G5 LID Y2O3 
90 AMAT  300 0200­06616  MINOS GAS INJECTOR  Y2O3 
91 AMAT  300 0200­06641  OPUS FOCUS RING  Al2O3 
92 AMAT  300 0200­06702  Producer Lift Pin Guide  Al2O3 
93 AMAT  300 0200­06801  SIDE NOZZLE Φ0.46  AlN 
94 AMAT  300 0200­06840  Producer Lift Pin  Al2O3 
95 AMAT  300 0200­06842  Producer Lift Pin Holder  Al2O3 
96 AMAT  300 0200­07102  GES G5 Injector  Y2O3 
97 AMAT  300 0200­07916  LIFT PIN  Al2O3 
98 AMAT  300 0200­07917  Lift Weight  Al2O3 
99 AMAT  300 0200­07956  LIFT PIN 139 TRIANGULAR (Y2O3) Al2O3 
100 AMAT  300 0200­07957  LIFT PIN WEIGHT Al2O3 
101 AMAT  300 0200­20492  IMP COIL SUPPORT CAP2  Al2O3 
102 AMAT  300 0200­20494  IMP COIL SUPPORT CAP1  Al2O3 
103 AMAT  300 0200­76050  COVER,300MM PEDESTAL B101,Ce  Al2O3 
104 AMAT  300 0200­76057  RING,COVER 300MM B101 IMP  Al2O3 
105 AMAT  300 0200­04593  DPS POLY LIFT PIN  Al2O3 
106 AMAT  300 0200­06870  Deposition Ring  Al2O3 
107 LAM  300 715­330825­006  Manifold Liner  Al2O3 
108 LAM  300 715­331211­002  CHAMBER WALL LINER  Al2O3 
109 LAM  300 716­003473­802  (ACME) CERAMIC GAS INJECTOR  Al2O3 
110 LAM  300 716­003481­822  LAM KIYO CX Window  Al2O3 
111 LAM  300 716­026652­832  BASE FOCUS RING  Al2O3 
112 LAM  300 716­031257­561  TOP EDGE RING  Y2O3 
113 LAM  300 716­031257­839  CERAMIC EDGE RING  Al2O3 
114 LAM  300 716­057993­003  KIYO EX CERAMIC GAS INJECTOR  Al2O3, Y2O3 
115 LAM  300 716­067667­005  Ceramic Top Edge Ring_CT (T14.9)  Al2O3 
116 LAM  300 716­140163­261  Hot Edge Ring 15DEG ESC  SILICON 
117 LAM  300 716­800330­062  INSULATOR BOT ESC TAPPED  Al2O3 
118 LAM  300 716­065573­004  Lower PEZ Ring  Y2O3 
119 LAM  300 716­003481­803  (ACME) Ceramic Window_(UC2 Coating)_M12­UC2 Marking  Al2O3 
120 LAM  300 719­003481­858  LAM KIYO Crystal Window  Al2O3 
121 Mattson  300 1010434 RING, FOCUS PARADIGM  Y2O3 
122 Novellus  300 15­003394­02  SPINDLE FORK  Al2O3 
123 Novellus  300 15­118123­00  RING INSULATOR ANOD PVD300  Al2O3 
124 Novellus  300 15­122178­00  VECTOR CARRIER RING  Al2O3 
125 Novellus  300 15­127251­01  Novellus C3 Speed AlN PEC  AlN 
126 Novellus  300 15­169666­00  R­TYPE LONG INJECTOR 9.07"  AlN 
127 Novellus  300 15­251538­00  SAPPHIRE PIN  SAPPHIRE 
128 Novellus  300 15­256077­02  VECTOR EBR BLADE  Al2O3 
129 Novellus  300 15­257351­00  SAPPHIRE PIN NEW TYPE  SAPPHIRE 
130 Novellus  300 15­265330­01  STAR INJECTOR DONUT ¢2.08 AlN 
131 Novellus  300 15­273669­00  Upper Shield Ring Al2O3 
132 Novellus  300 15­281612­00  RING LTM INSULATOR  Al2O3 
133 Novellus  300 15­287254­00  INSERT NUT CERAMIC  Al2O3 
134 Novellus  300 15­292820­00  Ceramic Finger  Al2O3 
135 Novellus  300 15­293564­00  Blade Load/Unload MCA  Al2O3 
136 Novellus  300 15­303364­00  C3 SPACER DISK PEDESTAl  Al2O3 
137 Novellus  300 15­306819­00  SHIELD_CERAMIC RING 125_  Al2O3 
138 Novellus  300 15­307708­00  Plug ESC Cermic A  Al2O3 
139 Novellus  300 15­307709­00  Plug ESC Cermic B  Al2O3 
140 Novellus  300 15­318364­00  AlN STAR Wheel 1.375L AlN 
141 Novellus  300 15­325002­00  CARRIER RING CERAMIC  Al2O3 
142 Novellus  300 15­327924­00  INOVA WAFER LIFT PIN(SUS)  INCONEL 
143 Novellus  300 15­344259­00  CARRIER RING AHM  Al2O3 
144 Novellus  300 15­362613­01  Sapphire Pin _Short  SAPPHIRE 
145 Novellus  300 15­385384­00  SHIELD_CERAMIC INSULATOR  Al2O3 
146 TEL  300 1D10­315649­12  Window Shield Depo_(Y2O3)  Al2O3 
147 TEL  300 3D10­101176­11  DIVERGE PLATE SHIN  Al2O3 
148 TEL  300 3M10­253256­11  STAGE OUTER RING  Al2O3 
149 TEL  300 3M10­307933­12  OUTER RING D320TI  Al2O3 
150 TEL  300 3M10­308691­12  LIFER ARM 300T  Al2O3 
151 TEL  300 3M10­312714­11  PICK, TRIAS LM TAPER  Al2O3 
152 TEL  300 3M10­406003­12  SCREW,M4X10_ALO  Al2O3 
153 TEL  300 3M10­409088­11  TEL Trias Lift Pin  Al2O3 
154 TEL  300 3M10­409092­11  Guide Long Pin Wrap Nut  Al2O3 
155 TEL  300 3M10­451143­11  PIN,TAPER WRAP  Al2O3 
156 TEL  300 3M10­451144­12  GUIDE,TAPER PIN WRAP  Al2O3 
157 TEL  300 3M10­455875­11  PLATE GAS DIST  Al2O3 
158 Varian  300 E17270580  FILAMENT INSULATOR  Al2O3 
159 Varian  300 E17296280  Insulator Dual Mount  Al2O3 
160 AMAT    0200­00298  DPS Metal Dome  Al2O3 
161 AMAT    0200­00453  Pin Guide(18x6.3x45.5)  Al2O3 
162 AMAT    0200­00454  Bushing Lift Pin  Al2O3 
163 AMAT    0200­02397  Liner Ceramic Bottom  Al2O3 
164 AMAT    0200­02677  Depo Ring_ALPS  Al2O3 
165 AMAT    0200­04977  ISULATOR BUSHING(15*15.6)  AlN 
166 AMAT    0200­05112  Ultima Side Nozzle AlN 
167 AMAT    0200­05238  AlN HDP Side Nozzle Φ0.36  AlN 
168 AMAT    0200­06112  Wafer Blade  Al2O3 
169 AMAT    0200­24018  0200­24018 PIN ANTENNA BK  Al2O3 
170 Novellus    15­034333­00  TUBE INJECTOR 4"  Al2O3 
171 Novellus    15­052375­00  Ceramic Finger  Al2O3 
172 Novellus    15­053394­03  SPINDLE FORK BK  Al2O3 
173 Novellus    15­169667­00  INJECTOR SHORT OPEN TUBE  AlN 
174 Novellus    15­251847­00  INJECTOR SHORT CLOSED  AlN 

 

 

 

 

 

 

KEYWORDS:AMAT,LAM,NOVELLUS, TEL, VARIAN, MATTSON等设备的专用氧化铝,蓝宝石,石英,氧化钇等各种材质刻蚀环,ETCH RING, FOCUS RING,半导体刻蚀备件

-