爱锐精密科技（大连）有限公司提供进口半导体工业用旋转干燥设备，SPIN DRYER，有需求请向我司咨询。

SEMICONDUCTOR SPIN DRYER（SPIN RINSE DRYER）

 

产品主要用途：
・半导体晶圆类产品的喷水清洗及旋转甩干

・晶圆表面的化学品及杂质的去除

产品特点：

・小型化，紧凑化设计，占用面积及空间更小，特别是立式机，占地更小。

・设计简单，操作更容易。

・产品线丰富，可以处理2-12寸的所有尺寸晶圆或基板。

・一机可以处理多个尺寸，通常一机追加夹具后可以处理两到三个尺寸的晶圆。

・可以根据客户的处理要求做夹具及腔体的更改设计。

・内部结构部件采用高耐腐蚀性SUS316材质，耐久性更好，对被清洗材料污染更小。

・可以自行设定清洗工艺步骤。

・卧式机可以高效率工作，一次处理多盒

 

产品类型：

立式旋转干燥设备（vertical SPIN DRYER)	卧式旋转干燥设备（horizontal SPIN DRYER)

适用处理产品类型：

硅材质晶圆	玻璃石英类基板	化合物类基板
半导体类备件	MEMS类	MEMS类

 

 

立式机的主要特点：

内部腔体采用SUS316材质	可以根据客户处理要求定制夹具
追加夹具一机可以处理2寸	同时也可以处理4寸及以上尺寸

 

 

卧式机的主要特点：

高效处理可以做在线机台	第次可以同时处理2-6盒晶圆

 

 

 

 

KEYWORDS：半导体清洗用旋转清洗干燥机，SEMICONDUCTOR SPIN DRYER， SPIN RINSE DRYER， SRD