日本大亚真空微波 CVD 装置

发布时间：2025-09-01

作者：爱锐精密科技（大连）有限公司

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产品描述：用途：薄膜成膜、表面处理标准规格：反应室尺寸 140×H200mm；微波电源 2.45GHz 0.5-3kW；模式变换器 TE10→TM01；气体导入系统 MFC 2-4 系列