日本大亚真空集群型溅射装置

发布时间：2025-09-01

作者：爱锐精密科技（大连）有限公司

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产品描述：特点：可实现全自动运行的高能溅射装置；可构建包含传输室、加载 / 卸载室的集群型结构标准规格溅射室尺寸：350×L270mm；极限压力：×10⁻⁴Pa 以下基板工作台：Φ280，可旋转；成膜速度：50...