半导体射频电源修理
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爱锐精密科技（大连）有限公司由向半导体公司，平板显示制造工厂，太阳能电池，光存储，LED 新光源等真空镀膜企业及半导体研究所提供直流、中频及RF射频电源的维修测试及调校,升级换代,以及二手器件的销售, 同时提供整合性服务方案
主要服务维修项目：
• AE/ENI(MKS)/Comdel RF DC 电源维修
• AE/ENI(MKS)/Comdel RF DC POWER升级
• AE/ENI(MKS)/Comdel MATCHWORK 维修调校
• 供应二手 DC POWER SUPPLY
• 供应二手 RF GENERATOR
• 特殊元器件供应 AE ENI(MDS) PARTS
• 各种DC RF 电源PCBA板维修(针对特殊用户)
电源维修流程：
主要维修产品列表：
| 生产制造商 | 产品名称 | 产品型号 |
| Advanced Energy | Ion Beam Drive （离子束驱动器） | ID-3500 、 ID-3501 、 IT-2500 、 IT-3500 |
| DC generator (直流电源） | MDX Series: MDX 5 、 MDX 10 、 MDX 20 、 MDX 30 、 MDX-052 、 MDX 1K 、 MDX 1.5K 、 MDX 500 、 MDX Delta ； MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW) ； PINNACLE Series: Pinnacle 6KW 、Pinnacle 12KW 、Pinnacle 10KW 、Pinnacle 20KW 、Pinnacle 8KW 、 Pinnacle 15KW 、PINNACLE 3000 ； PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW 、 Pinnacle Plus+ Dual output 5KW 、 Pinnacle Plus+ 10KW ； DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW 、 Pinnacle Diamond 10KW 、 Pinnacle Diamond 15KW ； MDX-L Series: MDX-L6 、 MDX-L 6kWHALO 、 MDX-L12 、 MDX-L 12M 、 MDX-L 12M 650 、 MDX-L18 ； SPARC Series: Sparc-le 20 、 Sparc-le V 、 Sparc VS ； E'Wave ；DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR | |
| AC generator( 交流 / 中频电源 )： | PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 PE 5000 、 PE-10K 、 PE-20K 、 PE-30K 、 PE-1000SG ； PE II ： PE II 5KW 、 PE II 10KW 、 PE II 60KW ； PDX ： PDX 500 、 PDX 900-2V 、 PDX 1250 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000 、 PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDZ 2200 、 MSD 350W ； PDW 600 、 PDW 2200 ； PDP 2500 、 PDP 3500 ； PEP 250 、 PEP 2500 、 PEP 5000 ； Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250B 、 LFGS:LFGS 1250C 、 LFGS:LFGS 1250D、Crystal：Crystal 60KW、Crystal 120KW、Crystal 180KW、RAS | |
| RF generator( 射频电源 ) | RFG ： RFG 80 、 RFG 1250 、 RFG 1250 HALO 、 RFG 1251 、 RFG 3000 、 RFG 3001 、 RFG 5500 、 RFG 2K-2V 、 RFDS 1250 、 RFDS 1250-A 、 RFDS 3000 、 RFDS 2Kw-2KV ； APEX ： Apex 1513 、 Apex 2027 、 Apex 3013 、 Apex 4027 、 Apex 5513 、 Apex 7013 、 Apex 10013 、 Apex 3513 、 Apex 10513 、 Apex 8013 、 Atlas 2 、 Atlas 1513 、 Atlas 3013 、 Atlas 2504 、 Atlas 2027 、 Atlas 2012 、 Atlas 4012 、 Atlas 5002 、 Atlas 5012 、 Atlas 5013 、 Atlas 5027 、 Rapid F ； RFX ： RFX 600 、 RFX 600A 、 RFX 1250 、 RFX 2500 、 RFX 5500 、 RFG-AZX ； RFX II ： RFX II 1250 、 RFX II 3000 、 RFX II 5500 ； HFG ： HFG 2500 、 HFG 5000 、 HFG 4M ； HFV ： HFV-3K 、 HFV-5K 、 HFV-8K 、 HFV-L 3KW ； Ovation VHF:VHF-2760W 、 VHF-2060 、 VHF-2560 、 VHF-35162 ； ICP Generator:ICP-1KW 、 ICP-1.5KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW ； Dressler HPG:HPG 03300 、 HPG 13150 、 HPG 13300 、 HPG 27300 ；Dressler Cesar: Cesar 0210 、 Cesar 0220(200v/400v) 、 Cesar 0225(200v/400v) 、 Cesar 0230(200v/400v) 、 Cesar 0250(200v/400v) 、 Cesar 026 、 Cesar 0410 、 Cesar 0420(200v/400v) 、 Cesar 0425(200v/400v) 、 Cesar 0450(200v/400v) 、 Cesar 046 、 Cesar 1310 、 Cesar 1312 、 Cesar 1320(200v/400v) 、 Cesar 1325(200v/400v) 、 Cesar 133 、 Cesar 1330(200v/400v) 、 Cesar 1350(200v/400v) 、 Cesar 136 、 Cesar 2710 、 Cesar 2720(200v/400v) 、 Cesar 273 、 Cesar 2740(200v/4000v) 、 Cesar 276 、 Cesar 4010 、 Cesar 4020(200v/400v) 、 Cesar 403 、 Cesar 4040(200v/400v) 、 Cesar 405 、 Cesar 6010 、 Cesar 6020(200v/400v) 、 Cesar 603 、 Cesar 605；Paramount：Paramount?3000；HILIGHT：HILIGHT 012 VCO、HILIGHT133、HILIGHT 136；INTEGRO：INTEGRO 133、INTEGRO 136；Astral：Astral 20kW；HerculesII：HerculesII 10013、HerculesII 15013、HerculesII 25013、HerculesII 30013； | |
| RFPP generator | RF-5S 250/500W 、 RF-5 、RF-10 、 RF-10P/L, RF-10S 、 RF-20 、 RF-20S 、 RF-25 、RF-25M 、RF-30 、 RF-30S 、 RF-30H 、 RF-35 、 RF-40 、 RF-50 、 RF-50S 、 RF -10M 、 RF-10MWC 、 RF-20R 、 RF -20M 、 RF -25M 、 LF-5 、 LF-10 、 LF-20 、 LF-30 、 LF-50 、 HF-5 、 HF-10 、 HF-100 、 HF-150 | |
| Match Networks ( 匹配网络 ) | AL-10 、 AL-15 AM-5 、 AM-10 、 AM-20 、 AM-25 、 AM-30 、 AM-35 、 AM-40 、 AM-50 、 AM-100 、 AM-150 、 AM-250 、 AM-300 、 AMU10E-2 、 AMN-2000 、 AMNPS -2A 、 ATX-600 、 ATX-1250 、 ATX-2500 、 ATL-100 、 AZX-10 、 AZX-40 、 AZX-63 、 AZX-72 、 AZX-90 、 AZX63, AZX90, AZX40, AZX-Dome 、 Navigator 640 、 Navigator 1013 、 Navigator 1013-P15 、 Navigator 1013-L35 、 Navigator 2502 、 Navigator 3013 、 Navigator 3013-ICP 、 Navigator 4027 、 Navigator 4040 、 Navigator 5060 、 Navigator 5513 、 Navigator Dual 5513-2060 、 Navigator Dual 5513-5502 、 Navigator 5513-L80 、 Navigator 5513-T150 、 Navigator 7013-L90 、 Navigator 10013 、 Navigator 10013-L140 、 Navigator 25013 、 Navigator 25027 、 Navigator 2040 、 Navigator 2060 ； VZX-5000 、 VZX-9100 、 TL-5 、 TL-10 、 TL-15 、 LM-5 、 LM-10 、 LM-30 、 LM 8000 、 LM-IPX 、 LM Others 、 Mercury 1K 、 Mercury 2K 、 Mercury 3K 、 Mercury 10K 、 ICP-1KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW 、 ICP-5KW 、 P.5000 、 FTMS-2KW 、 MFA Series 、 FM Series 、 SFM Series ； Dressler VM:VM 0415-AW 、 VM 0450 W-ICP 、 VM 1000A 、 VM 1500AW 、 VM 1500 W-ICP 、 VM 2715-AW 、 VM 5000 W-10T 、 VM 5000 W-2T 、 VM 5000 W-4T 、 VM 5000 W-6T 、 VM 5000 W-8T 、 VM-5000 W-ICP 、 VM 600A | |
| ENI（MKS) SERIES | DC generator (直流电源系列） | DCG Series:DCG-75 、 DCG-75E 、 DCG-100 、 DCG-100Z 、 DCG-100E 、 DCG-150 、 DCG-150E 、 DCG-200 、 DCG-200Z 、 DCG-400 、 DCG-600 ； RPG Series:RPG-50 、 RPG-100 、 RPG-200 、 Polara -260A ；OPTIMA Series:OPT-50 、 OPT-100 、 OPT-200 、 OPT-400 、 OPT-600 |
| RF generator( 射频电源 ) | DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 、 DPG-10 ； ACG Series:ACG-3 、 ACG-3B 、 ACG-5 、 ACG-6 、 ACG-6B 、 ACG-10 、 ACG-10B 、 2100L -15P ； 5100L ， 600L ， 600P ， 601P ； OEM Series:OEM-6 、 OEM -6A 、 OEM-6B 、 OEM-12 、 OEM -12A 、 OEM -12A -XL 、 OEM-12B 、 OEM-12-B3 、 OEM -25A 、 OEM-25-XL 、 OEM-28B 、 OEM-50 、 OEM-1250 、 OEM-2000 、 TEL-7000-RF ； SPECTRUM Series:B-1513 、 B-3013 、 B-10013 、 B-10002 、 B-5002 、 B-11002 、 B-5513Z 、 B-10513 ； SUREPOWER Series:QL-3513 、 QL-6513 、 QL-10513 、 QL-13013 ； GENESIS(GHW 、 GMW 、 GEW 、 VHF)Series:GHW-12 、 GHW-25 、 GHW-50 、 GHW-80 、 GHW-2527 、 GHW-3040 、 GHW -58A 、 GHW- 85A 、 GMW -25A 、 GMW-25Z 、 GEW-2527 、 GEW-3040 ； NOVA Series:NOVA -25A 、 NOVA-25 、 NOVA -50A ； RACK Series :RACK-AM-300 ；OTHERS ： DPGS-10 、 DPGD-10 、 LPG -6A 、 LPG -12A 、 PL1-HF 、 PL2-HF 、 PL3-HF 、 Quanta-10 、 HF-300 、 HF-650 、 HPG-2；OneBox Series：OB1-01、OB1-02、OB1-03、OB1-04、OB2 Series、OB4 Series、000-1093-076（2M,2.5KW)、000-1093-077(27.12M,1.8KW)、000-1093-075(DUAL MATCH)、000-1134-076、000-1134-077、000-1134-077R | |
| Match Networks (匹配网络) | D Series:MW-5D 、 MW-10D MW-5D-01B 、 MW-5DM12 、 MW-25D -05M 1 、 MW-25LD 、 MW-50 ； LD Series:MWD-25LD 、 MWD-55LD ； H Series; MWH-5 、 MWH-25 、 MWH-100 ； M Series:MWM-25 ； DUAL Series:MW2-30 ； OTHERS:MH -1001A 、 MH -2002A 、 RFC-5MW 、 RFC-6 、 MHC-1001 、 MHC-2002 、 VL-400 、 ENI-2500W-13.56、DFC Series：2300（000-1103-088）、DFC Series：27.12MHz，3KW（000-1103-083）、DFC Series：2MHz，5KW（000-1103-084） | |
| Applied Materials | Match Networks (匹配网络) |
Automatch, 13.56Mhz 0010-01929, 0010-09416, 0010-09417, 0010-09490, 0010-09750, 0010-13627, 0010-20524, 0010-20525, 0010-30094, 0010-30686, 0010-30687, 0010-36114, 0010-36162, 0010-36408, 0010-36941, 0240-39919, 4010-20524, Automatch, Low Frequency, Vectra 0010-14841 |
| Applied Materials / Astex | Microwave Generator SXHRC | 0190-09769 |
| Applied Materials / ENI | RF Generator, 13.56 | 0090-09025, 0190-36686, 0190-70080, 0190-76028, 0190-76048 |
| Applied Materials / ENI | DC / RF Supply | 0190-36274, 0190-36275, 0190-36343 |
| Astex / GAE / AGL / Gerling | Microwave Generator, | 94-1104, 94-1104-U, C12935, C12935-U, C13170, GL139 |
| Comdel | RF generator (射频电源 ) | CDX-2000, CLF-2500, CLF-500, CLF-5000, CLX-600, CPS-1000, CPS-1000S, CPS-1001, CPS-1001S, CPS-500, CPS-500AS |
| ENI | RF generator (射频电源 ) | DPGD-10, DPGS-10, HF1, OEM-10B, GMW-12, GMW-25, GMW-50, ACG-10XL, ACG-3XL, GHW-12, GHW-50, OEM-6, OEM-6B, OEM-6XL, ACG-10B, ACG-10T, ACG-3, ACG-3B, ACG-5, ACG-5XL, ACG-6B, GHW-25, OEM-12, OEM-1250, OEM-12A, OEM-12AL, OEM-12B, OEM-12B3, OEM-12XL, OEM-2000, OEM-25, OEM-25A, OEM-25B, OEM-25XL, OEM-28B, OEM-50, OEM-50N, OEM-50XL, OEM-650, OEM-6A, OEM-6AM, OEM-6B-01M3, OEM-6M, GEW-2527, NOVA-25, NOVA-50, GEW-3040, LPG-12, LPG-3, LPG-6, PL1HF, PL2HF, PL3HF |
| LAM / ENI | RF Generator, 27.1 Mhz | 660-110686-112, 853-014637-502 |
| Matrix / ENI | RF Generator, 13.56Mhz | 0995-11501X |
| MRC / ENI | RF Generator, 13.56Mhz | ACG-10B |
| Novellus / ENI | RF Generator, 13.56Mhz | 27-00073-00R, 27-00096-00, 27-00157-00, 27-00196-00, 27-07712-00, 27-10341-00, 27-045983-00 |
| Trazar / Novellus / Regen Solutions / Conteq | Automatch | SRN-1 / 27-045983-00 |
| Ulvac | Automatch, 13.56Mhz | MHW-5-01M3 |
| Ulvac | RF Generator, 13.56Mhz | OEM-6B-01M3 |
| Varian / RFPP | RF Generator, Low Freq. | G19-10074-00 |
维修电源实例：
AZX-63 |
HF-10 |
LF-30 |
HF-10 |
LF-5 |
0010-01929 |
0010-09490
|
0010-20525 |
GHW-25 |
LPG-12 |
MHW-5-01M3 |
MWD-25LD-02 |
PL1HF |
660-110686-112 |
OEM-6B-01M3 |
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