爱锐精密科技（大连）有限公司提供CVD-SIC（碳化硅）表面涂层加工服务。

同时我们还提供TaC（碳化钽）涂层加工,PG（Pyrolytic Graphite，热解石墨，热解碳）涂层加工，GC（Glassy Carbon,玻璃碳）含浸加工等高温耐氧化涂层加工服务。

● CVD-SIC涂层加工服务介绍：

CVD-SIC涂层具有结构均匀，材质致密，耐高温、抗氧化、纯度高和耐酸碱盐及有机试剂等特性，物理化学性能稳定。

与高纯度石墨材料相比，高纯石墨材料在400℃环境下开始发生氧化，长期使也会因氧化而掉粉末，造成周边器件，真空腔体内的环境污染，增加高纯环境的杂质。但SIC涂层可以在1600度环境下保持物理，化学性能稳定，现代工业，特别是半导体工业中得到广泛应用。最为突出的使用例为LED生产中的MOCVD的晶圆托盘，长期在1200度环境下使用亦可保持稳定性。其它行业也有逐渐取代单纯的高纯石墨材料的趋势。
本公司提供的SIC涂层（镀层）加工服务是以CVD（化学气相沉积）法在石墨，陶瓷等材料表面，使含碳与硅的特使特种气体在高温下发生化学反应，得到高纯度SIC分子，分子沉积在被涂材料表面，形成SIC保护层。形成的SIC牢牢巴结在石墨基体上，赋予石墨基体特殊的性能，从而使石墨基座表面致密、无孔隙、耐高温、抗溶蚀、抗氧化。

CVD-SIC涂层加工图解

● 主要特点：
1.高温抗氧化：抗氧化,温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好。
2.纯度高：高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的。
3.耐冲刷：硬度高、表面致密、颗粒细。
4.抗腐蚀性：耐酸、碱、盐及有机试剂。

CVD-SIC涂层形成过和示意图（原理图）

● CVD-SIC涂层的主要规格：

● CVD-SIC涂层的产品应用：
单晶硅外延生长用的石墨基座涂层，平板基座、圆形基座、立体基座的涂层。