爱锐精密科技（大连）有限公司提供日本出口高精度小型半导体制造实验旋转涂布机，SPIN COATER

产品特点：

■本产品采用独特的旋转控制系统不但可以达到5,000rpm以上的高速旋转，且旋转数精度全实现了 ±1rpm的高精度 
■可任意设定旋转数(0~5,000rpm)和到达旋转数的时间(0.2sec~999.9sec)，因此可轻易地控制膜厚。 
■可追加滴下装置(MS-A150/MS-A200)

产品主要功能：

■采用AC伺服电动机 
●无刷式，不会造成无尘室污染。 
●减少电动机发热，也减少因连续使用时的温度上升造成对膜厚再现性的影响。 
●电力消费低，减低环境的负担。 
■扩张程式功能 
●最多有100阶段程式、可记忆10种模式，更容易使用。 
■所有机型皆标准配备数位式真空计 
■方形基板等可设定停止时位置，超方便 
■安全装置机构(真空压及盖子) 
●由于薄膜或晶圆容易破裂，而降低吸附压力时，可以变更安全装置机构（真空）的稼动压力。

产品型号及主要规格：

型号		MS-B100	MS-B150	MS-B200
基板尺寸		MAX4inch(75×75mm)	MAX6inch(100×100mm)	MAX8inch(150×150mm)
旋转数		50~7,500rpm	50~7,000rpm	50~5,000rpm
旋转精度		±1rpm	±1rpm	±1rpm
盖子		压克力	压克力	PC
安全装置	盖子	选配	选配	○
	真空	○	○	○
滴下装置		不可装配	选配	选配
使用真空源		-0.08~0.1MPa	-0.08~0.1MPa	-0.08~0.1MPa
电源		AC100~110V 50/60Hz 5A	AC100~110V 50/60Hz 5A	AC100~110V 50/60Hz 5A
外形尺寸(mm)		260W×230H×330D	360W×302H×435D	503W×350H×580D
外观

MS-B200 密闭型

产品特点：

■可减低因旋转而产生的气流不稳，均匀涂膜
■EB光刻剂涂布效果佳
■低沸点溶剂涂布效果佳
■可减低光刻剂的使用量

●试料需使用合适的载台。有关载台的问题，请与敝司联络。

KEYWORDS： 半导体旋转涂布机，实验机，MS-B100， MS-B150， MS-B200， MEMS用涂布机