爱锐精密科技（大连）有限公司提供进口小型接确式对准曝光机 MASK ALIGNER

对准曝光机- MaskAligner

■特点 

■手动操作、接触式对准曝光机。 
■依照不同需求以及成本考量有准直仪型多面镜型整合(积算器)型三种曝光光源。
■有可对应5×5mm～100×100mm以及Φ1 inch～ 6 inch的基板的各类机种。 
■Mask Holder载台的更换作业简单易行，可在１分钟内完成，适合用于研究开发。 
■对准显微镜的对物镜可对应高对准精度或厚膜等用途，并且有4×、10×、20×三种。

■共通规格

MA系列 半自动型，用于IC少量生产，MEMS等用途

MA-10 低成本，标准型

规格 基板尺寸 MAXΦ4 inch Mask尺寸 MAX 5×5 inch UV灯箱 准直仪型 照度  >8mW/cm2 照度均一性 <±8.5% 硬性接触 有 对准点间隔测长功能 不可装配  计光量计 不可装配 防震台 选配 外形尺寸(mm)  700W×570H×650D

具体需求请向我司咨询。

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