CMP RETAINER RING
我司自行生产制造CMP RETAINER RING CMP保持环，半导体生产用化学机械研磨法用保持环
爱锐精密科技大连有限公司加工销售半导体用高精密CMP RETAINER RING，CMP保持环备件产品，可提供美国应用材料（AMAT），日本荏原（EBARA），SPEEDFAM， NOVELLUS，东京精密ACCRETEH等主要半导体设备商的及各小厂的6英寸，8英寸，12英寸的CMP RETAINER RING的反向设计及生产，精密高，产品质量稳定，世界各大厂商采用业绩非富。
产品介绍：
AMAT设备为代理的树脂与金属结合型CMP RETAINER RING结构 |
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主要构成： ・PPS树脂部分 与原厂保持一致，根据客户需要提供材质。 其它材质PEEK树脂，PET树脂等也有使用，请 咨询。
・金属部分采用不锈钢材料 |
EBARA设备为代表为全树脂型CMP RETAINER RING结构 |
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主要结构： ・全PPS树脂结构，同样采用以下三家厂商材料， 与原厂保持一致。 其它材质PEEK树脂，PET树脂等也有使用，请 咨询。 |
特殊钨制程用PEEK材质CMP RETAINER RING结构 |
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主要构成： ・树脂部分采用PEEK+40%炭素材料， 硬度与耐磨性较PPS要好，消耗亦减少。
・金属部分采用不锈钢材料。 |
产品主要特点：
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提供树脂表面的镜面抛光研磨： 此项服务可以让最终用户的DUMMY研磨时间降低，同时降低相关耗材的消耗，节约客户成本，提供客户生产效率。 上图为表面镜表研磨后采用特殊光学干涉检查装置，检查抛光后的树脂表面粗糙度照片，镜表粗糙度（Mirror Surface roughness, ）控制在Ra 0.588~0.881 (µm) |
提供背部的金属或树脂的平行度研磨： 产品的上下表面的平行度会影响被研磨晶圆的精准度及晶圆加工过程中的各部位的研磨率，为保证被加工晶圆的精密度，出货前做背部的平行研磨，车削产品件的精度平行度在50µm,背部平行研磨后的产品件的平行精度会隆到15µm，大大提高了被加工体的精密。 |
可以提供的相关规格
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200MM AMAT设备用 PPS与不锈钢接合型 CMP RETAINER RING |
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200MM AMAT设备用 全PPS树脂无沟槽型 CMP RETAINER RING |
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200MM AMAT设备用 PEEK+40%炭素材料 与不锈钢接合有沟槽型 CMP RETAINER RING |
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200MM AMAT设备用 PEEK+40%炭素材料 与不锈钢接合无沟槽型 CMP RETAINER RING |
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150MM 全PEEK+40%炭素材料 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PEEK树脂 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PET材质研磨用 CMP RETAINER RING |
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150MM 全PET材质研磨用 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PET-ETX 材质研磨用 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PBT材质研磨用 CMP RETAINER RING |
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200MM NOVELLUS EXTENSION RING AURIGA SERIES 有沟槽系列 |
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200MM NOVELLUS EXTENSION RING AURIGA SERIES 无沟槽系列 |
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200MM NOVELLUS AURIGA GUIDE RING
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150MM NOVELLUS AURIGA GUIDE RING |
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300MM EBERA G3 全树脂系列附密封橡胶 CMP RETAINER RING |
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200MM EBARA 全树脂系列 CMP RETAINER RING |
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200MM EBARA 全树脂系列 CMP RETAINER RING |
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150MM PETER WOLTER GUIDE RING |
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300MM AMAT设备用 PPS与不锈钢接合型 CMP RETAINER RING |
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300MM EBARA G2 全树脂系列 CMP RETAINER RING |
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300MM EBARA G2S 全树脂系列 CMP RETAINER RING |
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300MM EBARA PEEK+40%炭素 CMP RETAINER RING |
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300MM AMAT MEMBRANE DIAPHRAGM |  |
200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM |
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200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM | 可以加工的设备商名： | AMAT(MIRRA, REFREXTION)， EBARA，NOVELLUS， ACCRETECH， SPEEDFAM， PETER WOLTER |
加工料号举例（以下料号以外有大量生产实绩）
300mm C-3812-378-0001
300mm C-3812-431-0001
200mm C-3812-393-0001
AMAT 300mm PPS + SUS 0040-62020
- AMAT 300mm Full PPS 0040-88203
- AMAT 200mm PEEK+40%C (no glove) 0040-33583
- AMAT 200mm PEEK+40%C 0040-51156
0040-94632
- AMAT 200mm Titan Head N 0040-79583
- AMAT 200mm Titan Head HE 0040-80952
- AMAT 200mm AEP 0040-77243
- AMAT 200mm AEP2 0040-78263
