二氧化碳发泡机
超纯水用带电防止器（The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II） (日本NGK）
半导体产品制造中，利用超纯水清洗时必不可少的设备。
概要
通常的精密清洗过程中，往往使用不含离子的超纯水进行清洗，这样超纯水很容易产生静电，是以下的各种产品不良的主要原因。
・由静电产生电路破坏（静电击穿）
・被清洗物表面付着电荷，由静电吸引产生的微粒子粘着
超纯水用静电防止器（MEGAON II） 利用向超纯水中深解二氧化炭气体的方式，将电荷导出，达到除静电，搞高产品的良品率的目的。
用途
・半导体划片制程里的清洗
・高压喷射清洗
・液晶面板清洗
・曝光用MASK清洗
分类
分为MEGACON与ALKARI MEGACON 两种
MEGACON
特点
1，通过膜将二氧化碳溶解到超纯水中，微粒子的混入危险性小，信设备信赖性高；
2，采用自动控制系统，流量变动，目标水阻值可以达到精确控制；
3，设备进出超纯水的压力损失少；
4，欧洲电器标准CE
原理
通过膜装二氧化碳气体溶解到超纯水中。
产品规格
| 通用系列 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 规格 | 框架式 | PRCⅡ-1000AD | PRCⅡ-1200AD | PRCⅡ-2000AD | PRCⅡ-1220AD | |
| 柜式 | 标准型 | PRCⅡ-1000ACD | PRCⅡ-1200ACD | PRCⅡ-2000ACD | PRCⅡ-1220ACD | |
| S型 ※1 | PRCⅡ-1000ACD-S | PRCⅡ-1200ACD-S | PRCⅡ-2000ACD-S | PRCⅡ-1220ACD-S | ||
| 性能 | 最大流量 | 1000 L/h | 1000 L/h | 2000 L/h | 2000 L/h | |
| 系统控制 （最小水阻，流量约500L/h时的值） |
0.2～2 MΩ・cm |
0.1～0.5 MΩ・cm |
0.2～2 MΩ・cm |
0.15～1 MΩ・cm |
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| 气体部分 | 气体钢瓶内藏式 | |||||
| 超纯水水管口径 | 框架式 | 软管喷嘴（ID19φ编织软管） | ||||
| 柜式 | Rc1/2 | Rc3/4 | ||||
| 尺寸 | 框架式 | 480W×355D×200H mm | ||||
| 柜式 | 标准型 | 520W×400D×1150H mm | ||||
| S型 ※1 | 520W×400D×1415H mm | |||||
| 重量 | 框架式 | 15kg | ||||
| 柜式 | 标准型 | 65kg | ||||
| S型 ※1 | 66kg | |||||
| 电源 | AC100-240V（50/60Hz） （购入时请指定、无指定情况下为AC100-120V） |
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| 液体接触部分材质 | 膜箱CELL（二氧化碳导入部件）→PP |
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| 柜式涂装色 | Munsell 2.5Y8 / 2 | |||||
| 标装附属品 ※2 | 框架式 | 使用说明书，检查成绩书 | ||||
| 柜式 | 标准型 | 使用说明书，检查成绩书 电源100-120V时：电源线（AC100-120V用）+插头 电源200-240V时：电源线（AC200-240V用） （上记以外的部件由用户自行准备） |
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| S型 ※1 | ||||||
| CE标识 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 规格 | 框架式 | - | - | |||
| 柜式 | E型 | FRCⅡ-1000ACD-E | FRCⅡ-2000ACD-E | |||
| ES型 ※1 | FRCⅡ-1000ACD-ES | FRCⅡ-2000ACD-ES | ||||
| 性能 | 最大流量 | 1000 L/h | 2000 L/h | |||
| 系统控制 （最小水阻，流量约500L/h时的值） |
0.2～2 MΩ・cm |
0.2～2 MΩ・cm |
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| 气体部分 | 外部气体供给式 | |||||
| 超纯水水管口径 | 框架式 | - | ||||
| 柜式 | Rc3/4 | |||||
| 尺寸 | ラック型 | - | ||||
| 柜式 | E型 | 520W×470D×1150H mm （含防倒部分） |
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| ES型 ※1 | 520W×470D×1390H mm （含防倒部分） |
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| 重量 | 框架式 | - | ||||
| 柜式 | E型 | 65kg | ||||
| ES型 ※1 | 66kg | |||||
| 电源 | AC100-240V（50/60Hz） | |||||
| 液体接触部分材质 | 膜箱CELL（二氧化碳导入部件）→PP 配管→SUS304、PP、编织软管 |
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| 柜式涂装色 | Munsell 2.5Y8 / 2 | |||||
| 标准附属品 ※2 | 框架式 | - | ||||
| 柜式 | E型 | 使用说明书，检查成绩书 电源线（AC100-240V用）+欧洲标准插头 |
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| ES型 ※1 | 使用说明书，检查成绩书 电源线（AC100-240V用）+欧洲标准插头， 数据保存系统 |
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※1:S型为2色灯报警器+可移动用脚轮。ES型为2色灯报警器+数据输出用端子及数据保存用系统。
※2:其它附属品从下记名称中选出。预备用膜箱CELL，做为备用，推荐购买。
・校正证明书（水阻）
・预备用膜箱CELL
・水阻监视传感器SENCER
・数据保存系统
※3:超纯水的常用压力为0.35MPa，瞬时最大压力保持在0.45MPa以下。
ALKARI MEGCON
特点
1.以改变被清洗物表面的电位的极性及电量的变化，来防止微粒子的静电付着；
2.采用自动控制系统，流量变动，目标水阻值可以达到精确控制。
原理
利用膜将氨水注入到超纯水中
| 规格型号 | AMII-10P | AMII-20P | |
|---|---|---|---|
| 性能 | 流量 | 300～600 L/h | 600～1200 L/h |
| 控制范围 | 0.1～1MΩ・cm | ||
| 配管口径 | 超纯水 | Rc 1/2 | Rc 3/4 |
| 排气 | 25A PVC接头 | ||
| 尺寸 | 520W x 400D x 1150H mm | ||
| 重量 | 65kg | ||
| 其它标准 | 氨水 | 电子级 | |
| 氮气 | 0.3～0.5MPa x 50NL/min | ||
| 电源 | AC100V(50/60Hz) | ||
| 涂装色 | Munsell 2.5Y8 / 2 | ||
| 可选项 | 1.氨水蓄液罐0～15L) 2.氨水残量监视器(附带报警器) |
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可选备品
数据保存系统
可以将水阻值，温度，流量数据导入电脑，图表表示。
这些数据可以提高清洗管理水平，及良品率。
| 对应OS | Windows2000、XP、VISTA | |
| 使用环境 | CPU | Pentium 150MHz以上 |
| HDD容量 | 10MB以上 | |
| 内存 | 32MB以上 | |
| 图表 | 画面种类 | 1.即时表示 2.保存数据再表示 |
| 表示项目 | 纵轴：水阻测定值(2点)、水温测定值1点)、流量演算值(1点) 横轴：时间(年月日时分秒) |
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| 警告表示 | 水阻值上下限警告，二氧化碳残量少 | |
| 数据保存 | 样本周期 | 1～60sec (1sec刻度) |
| 保管形式 | csv形式、1小时一回数据保存 | |
| 最长时间 | 最长1个月 | |
| 使用数据线 | RS-232C(d-sub pin)、RS-485 | |
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