CMP研磨垫
超纯水加热设备
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主要用途
1. 清洗硅晶片。 2. 清洗液晶玻璃基板。 3. 可代替其他用氟利昂清洗的温纯水清洗。
加热单元用的高纯度石英组件,内置卤素灯,外面包裹断热材料
基本参数
■型号
PWH-24N
PWH-48i
PWH-72i
PWH-96i
PWH-144i
■加热方式
采用近红外线光的辐射加热方式
性能
■加热器电功率
24kW
48kW
72kW
96kW
144kW
■标准流量 (升温至55℃时)
6L/min
12L/min
18L/min
24L/min
36L/min
■最小加热流量
2L/min
5L/min
■设定温度范围
25~85℃
■温度控制精度
±1℃ ※1
构成
■流量显示范围
0~10L/min
0~50L/min(不是可保证控制精度的范围)
■加热器
卤灯,不接触液体的间接加热方式
■加热部容器材质
高纯度透明石英
■接触液体的设备及配管材质
氟树脂
■安全对应功能
流量异常、过高温、干烧、漏夜、传感器断线、卤灯断线等、 检测出异常时停止输出信号,显示报警,并在接点输出报警信号
■外部通信功能
RS-232C/RS-485(可选)但不能同时选择 ※2
■外部输入输出功能
8-输入/14-输出信号(根据产品式样也会有不同的情况)
其他
■外形尺寸(mm) ※3
W340×D850 ×H1384
W340×D850 ×H1384
W340×D850 ×H1584
W340×D850 ×H1986
W1050×D700 ×H2004
■重量
约90kg
约130kg
约160kg
约210kg
约410kg
■电源(50/60Hz) (3相3栓)※4
AC200/208V 共用 69/67A
AC200/208V 共用139/133A
AC200/208V 共用 208/200A
AC200/208V 共用 277/266A
AC200/208V 共用 416/400A
※1:据条件而异。 ※2:可另外讨论。 ※3:不包括突起部分。※4:电压可要求厂家变更或安装变压器
KEYWORDS:半导体用超纯水加热设备,PURE WATER HEATER, KELK, 超纯水加热器