半导体制造用真空阀门（Slit Valve Door）（台湾产）

本产品是由台湾拥有四十年橡胶产品生产经验，氟化橡胶产品生产经验接近十年，并在日本，韩国，台湾地区的半导体行业得到广泛应用的专业企业生产，全部氟化橡胶产品的生产线设在台湾，拥有100级和10000级的洁净室，拥有高精密度三次元测量仪，专业的电浆杂质测试设备等，保证高给客户提供高品质的产品。且有开发能力，可以根据客户要求提供相应产品。

产品特点：

1，耐高温；

2，抗等离子；

3，低杂质产生，高纯度；

4，使用寿命长；

5，低金属含量；

6，低气体放出；

7，价格低廉。

可以提供产品线：

对应6英寸半导体生产线及8英寸半导体生产线特点

低杂质放出量，

防止金属接触，

长时间使用寿命。

对应12英寸半导体生产线产品特点

安装简单，

价格低廉。

对应材料：FKM，FFKM

产品例

应用领域：IC， LCD， LED， OLED等半导体行业的生产制造过程中的下列制程

干法蚀刻（Dry Etching), 湿法蚀刻（Wet Etching), CVD, PVD, 扩散（Diffusion)等。

等离子（电浆）杂质检测设备/压力检测设备

FTIR/三次元测量

RIE测试设备/PECVD测试设备

KEYWORDS：密封圈，全氟密封圈，全氟O型圈，O ring, O RING, O-RING, 密封件， 氟胶圈，氟胶垫片，O型氟胶圈， 氟胶垫片， 氟胶条， 氟胶管， 氟胶平垫圈， 进口O型圈， 方型圈，星型圈， 不规则密封橡胶条， 真空阀门， 真空狭缝门， 真空档板， 铝档板，